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ULVAC（日本愛發科）的核心產品
更新時間：2026-02-03
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一、真空泵類
油旋片式真空泵
GLD 系列：如 GLD051、GLD280、GLD-N137、GLD-N202 等，具備低噪音（<74dB）、低振動特性，支持 24 小時連續運行，廣泛用于半導體鍍膜、實驗室真空系統、空調生產等領域，在制冷行業占據較高份額。
VDN 系列：如 VDN-301、VDN-401、VDN601 等，可實現 10?2Pa 級粗真空，適配食品包裝、真空吸附、小型鍍膜設備等基礎真空工藝，性價比突出，是中小企業的熱門選擇。
VSN 系列：如 VSN1501、VSN2401，采用強制供油和缸體水冷方式，能應對全壓強領域連續運轉，適用于電子、檢漏、干燥等對穩定性要求高的場景。
干式真空泵
LS 系列螺桿型干泵：抽氣速度 120-1200m3/h，搭載 ECO-SHOCK 節能系統，高速排氣且低功耗，在鋰電池電極制造、電解液注液、化工反應等新能源與化工領域應用廣泛，是 ULVAC 干式泵的爆款系列。
DIS/DISL 系列渦旋型干泵：低振動、低噪音，可在大氣壓下啟動運行，適用于半導體、精密儀器等對潔凈度要求高的工藝環節，如芯片制造中的真空傳輸系統。
DTC 系列隔膜型干泵：全 PTFE 材質，可安全處理 Cl?、H?SO?等強腐蝕性氣體，是化工合成、真空蒸餾、醫藥中間體生產等場景的干泵。
羅茨泵及機組
NB 系列羅茨泵：如 NB100B、NB300B、NB600B、NB1200B、NB2400B 等，常與其他真空泵組合成機組，提升抽氣效率，廣泛用于大型真空鍍膜、半導體刻蝕、光伏電池生產等中高真空工藝。
YM 系列羅茨泵機組：集成化設計，安裝便捷，適配工業批量生產場景，在制冷、電子行業的真空干燥、檢漏環節應用普遍。
二、真空鍍膜與成膜設備
PVD 系列物理氣相沉積設備：在空調等制冷行業占據大部分市場，可實現金屬膜、氧化物膜等沉積，用于空調換熱器、零部件的防腐與功能涂層制備，是寧波愛發科的核心生產與銷售產品之一。
Ei/Esz 系列蒸發設備：Batch 式高真空蒸發設備，如 ei-5z、ei-7z、Esz-R 等，可在基板上沉積金屬、氧化物等薄膜，適配光學鏡片、電子元件、裝飾件等的鍍膜需求，操作面板集中控制，自動化程度高，在光學、電子行業應用廣泛。
NE 系列沉積設備：如 NE-550EXz，采用 Load-Lock 氣閘室結構，支持 2-8 英寸基板全自動處理，兼容金屬、GaN、InP 等多種材料，是半導體、光電子器件制造的關鍵成膜設備，在電子制造領域銷量穩定。
三、真空測量儀器
皮拉尼真空計 SW 系列及表頭 ISG1：2009 年推出，適配中低真空范圍測量，響應速度快，可與多種真空泵、真空系統集成，廣泛用于工業真空設備的實時監測，是寧波愛發科的主打測量產品之一。
Gatch 系列真空計：覆蓋粗真空到高真空測量范圍，精度等級豐富，適配半導體、科研、化工等不同場景的真空度檢測需求，是 ULVAC 真空測量儀器的經典系列，市場認可度高。
四、其他熱門配套產品
NOC 系列油凈化裝置：與油旋片真空泵配套使用，可過濾、凈化真空泵油，延長油品使用壽命，降低設備維護成本，是真空泵用戶的剛需配套產品。
NWS 系列油水分離器：用于分離真空泵排氣中的油和水，減少環境污染，適配化工、制藥等對環保要求高的行業，與干式、油式真空泵組合銷售，銷量穩定。
