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產品型號：VPC-1100
更新時間：2025-11-12
廠商性質：代理商
訪問量：100
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跨境現貨ULVAC日本愛發科小型蒸發設備
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ULVAC
將架臺上的油擴散泵，油回轉泵，皮拉尼真空計，閥門配管，電氣系統，壓力測量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設備的電阻加熱型高速真空蒸發設備。
適用于大型基板的基礎研究開發等實驗用途。
玻璃鐘罩更容易看到內部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
通過追加蒸發電源和電極，可同時蒸發或多層蒸發。
更改為EB規格，可成膜高熔點的材料。
蒸發設備帶有腳輪，移動更為容易。
帶有調節器，可確保設置的安全性。
| model | VPC-1100 | |
| 真空性能 | 極限壓力 | 4.0×10-４Pa 1.3×10-４Pa（液體氮氣使用時） |
| 排氣時間 | 4.0×10-３Pa/10min 10-４Pa臺/10min（液體氮氣使用時） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 玻璃鐘罩（內徑Φ390mm×高350mm) |
| 饋通圈 | 20端口(側面14/底面6) | |
| 基板推薦尺寸?最大尺寸※1 | □50mm ? □220mm（Max） | |
| 電源系統 | 蒸發電極構成 | 3點式 |
| 蒸發電源?數量 | SEREM PSE-150C?1 式 0～10V 150A（Max) | |
| 排氣系統 | 主泵※2 | 油擴散泵（水冷） 1100L/sec |
| 液體氮氣捕集器 | 有 | |
| 補助泵 | 油回轉泵 200L/min、2臺 | |
| 油霧捕集器 | 選項 | |
| 操作系統 | 主閥 | 蝶閥 |
| 補助閥 | 三通閥 | |
| 自動泄露閥 | 選項 | |
| 操作 | 手動 | |
| 控制系統 | 皮拉尼真空計 | GP-1G |
| 電離真空計 | 選項 | |
| 設置 | 最大尺寸 本體 | 1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H） |
| 電源 | 設備本體收納 | |
| 質量 本體 | 313kｇ | |
| 電源 | 設備本體收納 | |
※1：最大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。
※2：準備了分子泵（TMP）的規格
| 型式 | VPC-1100 | |
| 所要時間 | 本體 | 200V 3相 50/60Hz 5.0kVA |
| 電源 | 100V 單相 50/60Hz 1.0kVA | |
| 接地端子 | Ｄ種 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
| 組合連接 | 本體 3Φ 200V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶R3.5-4壓著端子） 4m |
| 電源 1Φ 100V | 橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭） 4m | |
| 所要水量 | 1.5 L／min?。ㄋ疁兀?0～25℃、水圧：200kPa （表壓）） | |
| 組合連接 （ソケット） | Rp1/4 （帶有可觸摸式配件） | |
| 推薦軟管※ | 滌綸軟管（內徑9mm×外徑15mm） | |
※冷卻水配管，請客戶自行準備。
