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產品型號：HR60/HR90/HR300/HR600
更新時間：2025-11-11
廠商性質：代理商
訪問量：29
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原裝ULVAC日本愛發科多級羅茨式干式真空泵
原裝ULVAC日本愛發科多級羅茨式干式真空泵
超輕型空調
通過將泵體均勻加熱到高溫范圍，
可以將化學氣相沉積、蝕刻等工藝過程中高溫區域浸泡產生的可升華廢氣以氣態形式排出。
“UR 型"設備甚至可以達到比“HR 型"設備更高的溫度。
它配備了氦氣密封罐式電機，結構密封，非常安全。
采取措施防止發生持續時間不超過 1000 毫秒的瞬時斷電。
優異的耐腐蝕性
：主要部件均采用特殊的表面處理工藝，具有較高的表面硬度和優異的耐腐蝕性，可減少泵在排出腐蝕性氣體時內部的腐蝕。
通信功能：
可讀取泵運行狀態和警告/報警歷史記錄等數據。通過使用專用軟件并與計算機通信，可實現集中監控。
CVD設備
蝕刻設備
灰化裝置
ALD、ALH 等。
| 模型 | HR60 | HR90 | HR300 | HR600 | HR1200 | ||||
| 泵 | DRP | HR60 | HR90 | HR60 | HR90 | HR90 | |||
| MPB | - | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | ||||
| 最大 泵速 | 50赫茲 | 立方米/小時（升/ 分鐘） | 62(1030) | 112（1860） | 359(5,980) | 653（10,900） | 1,012(16,900) | ||
| 60赫茲 | 立方米/小時（升/ 分鐘） | 80(1333) | 126(2100) | 365(6,080) | 701（11,700） | 1,051(17,500) | |||
| 極限壓力 | 賓夕法尼亞州 | 5 | 0.67 | ||||||
| 最大進氣壓力 （進氣壓力） | 大氣壓*1 | ||||||||
| 最大出口壓力 （排氣壓力） | 賓夕法尼亞州 | 1 至大氣壓 | |||||||
| 進氣口（CE規范） | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG80(KF80) | VG100(KF100) | |||||
| 排氣口 | KF40 | ||||||||
| 大量的 | 公斤 | 180 | 245 | 275 | 370 | 420 | |||
| 電力 | 三相 | 交流電（赫茲） | 200(50/60), 220(60) | ||||||
| 當前值 | 穩定狀態 | 一個 | 7.1 （200V時） | 11.2 （200V時） | 7.8 （200V時） | 12.9 （200V時） | 15.4 （200V時） | ||
| 最大限度 | 一個 | 7.3 （200V時） | 11.8 （200V時） | 8.1 （200V時） | 13.8 （200V時） | 18.9 （200V時） | |||
| 冷卻水臨時壓力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||||
| 冷卻水進/出口壓差 | 兆帕 | >0.1 | |||||||
| 冷卻水流量 | 升/分鐘 | >5.0 | |||||||
| 吹掃氣體 | 一次壓力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||||
| 二次壓力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||||
| N2吹掃 | 軸 | 空間光調制 | 5 | ||||||
| 加斯巴拉 | 空間光調制 | 0~45 | |||||||
*1 請勿在入口壓力為 200 Pa 或更高時連續操作 HR300、HR600 或 HR1200。
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