ULVAC EGL-103S 用于金屬薄膜生產(chǎn)的高通用性電子槍
ULVAC用于金屬薄膜生產(chǎn)的高通用性電子槍

產(chǎn)品型號：EGL-103S

更新時間：2025-11-12

廠商性質(zhì)：代理商

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產(chǎn)品介紹

ULVAC用于金屬薄膜生產(chǎn)的高通用性電子槍

適用于金屬薄膜生產(chǎn)的高通用性電子槍，擁有豐富的應(yīng)用實(shí)例

電子槍
用于金屬的EB源_EGL系列Model: EGL

ULVAC

EGL 系列電子束蒸發(fā)源是 ULVAC 多年技術(shù)積累和業(yè)績記錄的結(jié)果，旨在提高性能和可靠性。 EGL 系列擁有各種類型的噴槍陣容，可用于任意多層薄膜沉積、厚膜的高速沉積和超高真空實(shí)驗。

由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn)，因此二次電子對沉積體的影響極小。
即使是可升華的材料，也可以通過掃描 X 軸和 Y 軸上的光束點(diǎn)來順利蒸發(fā)，從而消除挖洞現(xiàn)象。（日本國 831485 號 843447）
電子束是 270° 偏轉(zhuǎn)的，因此不會暴露在蒸發(fā)材料的蒸氣中，燈絲的使用壽命長。
發(fā)射器組件易于安裝和拆卸，便于更換燈絲、絕緣體等。

規(guī)格

Model		EGL-103S	EGL-35	EGL-35M	EGL-110	EGL-80M
電子束偏轉(zhuǎn)角		270°
坩堝數(shù)量		3	1	4	1	4
坩堝容量		10cc	40cc	40cc ×2/10cc×2	110cc
坩堝尺寸：頂部 × 底部× 深度		35Φ×31Φ×11H（mm）	50Φ×41Φ×25H（mm）	50Φ×41Φ×25H（mm）/32Φ×24Φ×15H（mm）	75Φ×59Φ×32H（mm）	75Φ×57Φ×32H（mm）
冷卻水量	爐邊	10L/min 或更高			19L/min 或更高	20L/min 或更高
冷卻水量	其他	2L/min 或更高	-	2L/min 或更高	ー	4L/min 或更高
尺寸（W×D×H）不包含突起		313×250×108（mm）	160×206×79（mm）	170×240×156（mm）	136×220×90（mm）	265×318×168（mm）
質(zhì)量		約16公斤	約10公斤	約18公斤	約15公斤	約30公斤
沉積速率		-	1.8μm/min 或更高（Al/8kW/ハ爐膛正上方 250H）	1.6μm/min 或更高（Al/8kW/爐膛正上方 250H）	4.5μm/min 或更高（Al/16kW/爐膛正上方 250H）	4μm/min 或更高（A\| 16kW,/爐膛正上方 250H）
最大加速電壓		-10kV
最大發(fā)射電流		0.6A	1.0A		1.6A
適用電源		HPS-1000N-100/HPS-1000N-200			HPS-1600F-DS100/HPS-1600F-DS200	HPS-1600F-DS101